Lustra MEMS dla przenośnych LiDAR

Abstrakt

W artykule omówiono wybór i charakterystykę luster MEMS do systemów LiDAR noszonych na ciele, z naciskiem na efektywność energetyczną, kompaktowość i wydajność. Lustra MEMS działające na częstotliwościach rezonansowych zostały wybrane ze względu na ich minimalne zapotrzebowanie na energię i stabilność, pomimo ograniczeń, takich jak stałe pole widzenia (FoV) i specyficzne ograniczenia częstotliwości rezonansowej. Przeanalizowano kluczowe parametry, takie jak częstotliwość rezonansowa, pole widzenia i wymiary płytki lustra, aby zidentyfikować lustra zdolne do maksymalizacji FoV i prędkości skanowania w kompaktowym formacie. Przegląd obejmował kilka luster MEMS, w tym mechanizmy aktuacji elektrostatycznej i elektromagnetycznej, podkreślając ich zasady działania, kąty skanowania, częstotliwości rezonansowe i kompromisy projektowe.